飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是一種分析儀器，它將掃描電子顯微鏡(SEM)與能量色散X射線光譜儀(EDS)集成在一起，能夠在微觀尺度上對(duì)材料進(jìn)行形貌觀察和成分分析。
1.掃描電子顯微鏡(SEM)：利用聚焦的電子束掃描樣品表面，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào)，通過探測(cè)器收集這些信號(hào)并轉(zhuǎn)換為圖像，從而獲得樣品表面的形貌信息。電子束斑越小，分辨率越高，能夠觀察到更細(xì)微的表面細(xì)節(jié)。
2.能量色散X射線光譜儀(EDS)：當(dāng)高能電子束或X射線激發(fā)樣品中的元素時(shí)，元素會(huì)發(fā)射出具有特定能量的X射線。EDS通過探測(cè)這些X射線的能量和波長(zhǎng)，來確定樣品中所含元素的種類和含量。不同元素發(fā)射的X射線具有特定的能量，因此可以通過測(cè)量X射線的能量來識(shí)別元素。
飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的主要組成部分：
1.電子光學(xué)系統(tǒng)：包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈等。電子槍用于產(chǎn)生電子束，電磁透鏡用于聚焦和控制電子束的直徑，掃描線圈則使電子束在樣品表面進(jìn)行光柵狀掃描。
2.真空系統(tǒng)：為了確保電子束在傳輸過程中不會(huì)受到氣體分子的散射和吸收，需要維持一定的真空度。真空系統(tǒng)通常包括機(jī)械泵、分子泵等。
3.樣品室：用于放置和固定樣品，通常具有可調(diào)節(jié)的舞臺(tái)位置和放大倍數(shù)，以便觀察不同區(qū)域和大小的樣品。
4.探測(cè)系統(tǒng)：包括二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器、X射線探測(cè)器等。這些探測(cè)器用于收集從樣品表面發(fā)射的各種信號(hào)，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)進(jìn)行處理和分析。
5.控制系統(tǒng)：用于控制儀器的操作參數(shù)，如加速電壓、電子束電流、工作距離等。通常配備有計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，可以方便地進(jìn)行參數(shù)設(shè)置、圖像采集和數(shù)據(jù)處理。
