飛納臺式電鏡能譜一體機具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析，將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺設(shè)備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，技術(shù)支持也變得相對簡單快速。
電鏡能譜一體機是全數(shù)字化控制，電子顯微成像分析儀器，配置有三級電磁透鏡，大變焦范圍，長工作距離，多孔徑光闌，輕松獲得材料表面高分辨、大景深、高質(zhì)量的微觀形貌導(dǎo)航圖，能夠?qū)ξ⒚讈單⒚追秶瘜W(xué)元素組成進行快速鑒定，即使未經(jīng)專業(yè)培訓(xùn)，也能夠得心應(yīng)手。
電鏡能譜一體機全數(shù)字控制，專業(yè)級電子顯微成像儀器，標配探測器，可選樣品倉低真空環(huán)境功能，直接測試非導(dǎo)電樣品，主機設(shè)計緊湊，系統(tǒng)高度集成，良好散熱及電磁兼容性能，輕質(zhì)合金外殼，數(shù)字加工成型，具有良好電磁屏蔽功能，集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析于一體，電鏡操作簡單，效率高，無需防震臺和磁屏蔽，無樓層要求。
飛納臺式電鏡能譜一體機腔室設(shè)計得到探測角度和工作距離，顯著提高X射線的收集效率，采用穩(wěn)定堅固的超薄窗口，透過率在低能量范圍，是聚合物窗口的2-3倍，適合輕元素檢測和低電壓能譜分析。飛納臺式電鏡能譜一體機的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在對厚塊試樣的觀察進行比較時，因為在透射電子顯微鏡中還要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達到10nm，且觀察的不是試樣本身，因此，用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。
由于工作距離大(可大于20mm)，焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍)，樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉(zhuǎn))，且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域帶來大的方便。
